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自動(dòng)顯影勻膠機

簡(jiǎn)要描述:全新外觀(guān)設計,適配實(shí)驗室實(shí)驗操作
*進(jìn)的設計理念,模塊化設計
可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制
可實(shí)現不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運動(dòng)控制系統,提高實(shí)驗精度及重復性

  • 所在城市:無(wú)錫市
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新日期:2024-05-21
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:3856

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詳細介紹

品牌LEBO/雷博產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域能源,電子

產(chǎn)品特點(diǎn)

全新外觀(guān)設計,適配實(shí)驗室實(shí)驗操作

*進(jìn)的設計理念,模塊化設計

可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷

支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制

可實(shí)現不同功能模塊的自由組合定制

配載精密的運動(dòng)控制系統,提高實(shí)驗精度及重復性


產(chǎn)品參數

轉速范圍:20-10000rpm

轉速分辨率:±1rpm

加速度可調范圍:20-50000rpm/s

單步時(shí)長(cháng):3000s

時(shí)間分辨率:0.1s

適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤(pán)

顯影噴嘴距離基片高度可調,可調范圍10-50mm

可添加背洗功能(根據客戶(hù)需求而定)








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