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簡(jiǎn)要描述：全新外觀(guān)設計，適配實(shí)驗室實(shí)驗操作*進(jìn)的設計理念，模塊化設計可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制 可實(shí)現不同功能模塊的自由組合定制配載精密的運動(dòng)控制系統，提高實(shí)驗精度及重復性
所在城市：無(wú)錫市 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新日期：2024-05-21訪(fǎng) 問(wèn) 量：3856產(chǎn)品分類(lèi)
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| 品牌 | LEBO/雷博 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
產(chǎn)品特點(diǎn)
全新外觀(guān)設計，適配實(shí)驗室實(shí)驗操作
*進(jìn)的設計理念，模塊化設計
可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制
可實(shí)現不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運動(dòng)控制系統，提高實(shí)驗精度及重復性
產(chǎn)品參數
轉速范圍：20-10000rpm
轉速分辨率：±1rpm
加速度可調范圍：20-50000rpm/s
單步時(shí)長(cháng)：3000s
時(shí)間分辨率：0.1s
適用基片尺寸：4/6/8寸標準晶圓，非標準基片可定制載物盤(pán)
顯影噴嘴距離基片高度可調，可調范圍10-50mm
可添加背洗功能（根據客戶(hù)需求而定）
產(chǎn)品咨詢(xún)
聯(lián)系人：陸燕
地址：江蘇江陰金山路201號創(chuàng )智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
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